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ES612 ESD測(cè)試儀 晶圓芯片級(jí) HBM, HMM, MM

ES612 ESD測(cè)試儀 晶圓芯片級(jí) HBM, HMM, MM

型號(hào):ES612-20K

產(chǎn)品時(shí)間:2023-11-13

簡(jiǎn)要描述:

ES612 ESD 測(cè)試儀 (HBM, HMM, MM)
ES612 ESD測(cè)試儀是2管腳測(cè)試儀,為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口,可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備,較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展,也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

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詳細(xì)介紹

ES612 ESD 測(cè)試儀 (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD測(cè)試儀是一款2管腳測(cè)試儀,為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口,可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備,較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展,也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612 ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形,為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外,電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè),因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。

特點(diǎn)

  • 低寄生參數(shù),高質(zhì)量脈沖

  • 可定制,可擴(kuò)展

  • 可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試

  • 外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊

  • 觸摸控制面板

  • 可固件升級(jí)

  • 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件

  • 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
     

ES612 ESD測(cè)試儀是一款2管腳測(cè)試儀,為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)ESD測(cè)試而設(shè)計(jì)。該測(cè)試儀的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)試儀上的DC特性測(cè)試端口,可搭配數(shù)字源表等DC測(cè)試設(shè)備,較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測(cè)試儀可搭配多管腳自動(dòng)化測(cè)試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展,也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612 ESD測(cè)試儀的脈沖源設(shè)計(jì)和注入方法能夠確保被測(cè)器件端的波形表現(xiàn)。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動(dòng)抓取脈沖注入時(shí)的波形,為數(shù)據(jù)分析提供可靠依據(jù)。此外,電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測(cè),因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。
 

 

  • 低寄生參數(shù),具有高質(zhì)量脈沖
  • 可定制,可擴(kuò)展
  • 可搭配探針臺(tái)進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試
  • 外置可選配的自動(dòng)故障檢測(cè)模塊
  • 觸摸控制面板
  • 可固件升級(jí)
  • 可選配的自動(dòng)化脈沖注入和故障測(cè)量軟件
  • 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
     
  • 用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級(jí)器件的通用ESD測(cè)試
  • HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
  • HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
  • MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
     
  • ES612 控制主機(jī)

    參數(shù)ES612-2KES612-8KES612-12KES612-20K單位
    輸出電壓± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
    小輸出電壓步長(zhǎng)1V (500V以內(nèi))

     

    10V (2 kV以內(nèi))

    1V (500V以內(nèi))

     

    10V (8 kV以內(nèi))

    1V (500V以內(nèi))

     

    10V (12 kV以內(nèi))

    1V (500V以內(nèi))

     

    10V (20 kV以內(nèi))

    V,

     

    kV

    輸出電壓精度 ± 1 % 或 ± 5 V%
    尺寸347 X 300 X 145mm
    重量5667kg
    電壓、電流測(cè)量電壓、電流測(cè)量無源探頭
    支持的示波器Keysight, Tektronix,Lecory主流型號(hào)示波器
    支持的SMUKeithley 24xx/26xx 系列

    外置人體模型(HBM )波形發(fā)生模塊

    參數(shù)HBM-2KHBM -8KHBM -12KHBM -20K單位
    輸出電壓± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
    放電RC值C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% 
    短路峰值電流Ips0.67A ± 10 % per kVns
    短負(fù)荷上升時(shí)間Trs2 < Trs < 10ns
    短負(fù)荷衰減時(shí)間Tds1300 < Tds < 1700ns
    短負(fù)荷振鈴Irs< 15% of Ips 
    500Ω負(fù)載峰值電流IprIpr/Ips ≥ 63% 
    500Ω負(fù)載上升時(shí)間Trr5 < Trr < 25ns

    外置人體-金屬模型(HMM )波形發(fā)生模塊

    (根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2009)

    參數(shù)HMM-24K單位備注
    HMM峰值電流90A3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %

     

    IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

    HMM電流@ 30 ns48A≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30%  )
    HMM電流@ 60 ns24A≤ ± 10 % (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的 ±30%  )
     
    編號(hào)型號(hào)描述
     ES612 ESD測(cè)試儀
    1.1ES612ES612 ESD 測(cè)試儀控制主機(jī), 大輸出電壓 8 kV / 20 kV,

     

    RS232 SCPI 通訊端口

    1.2ES612-HBM人體模型波形發(fā)生模塊(2管腳)
    1.3ES612-HMM人體-金屬模型波形發(fā)生模塊(2管腳)
    1.4ES612-MM機(jī)器模型波形發(fā)生模塊(2管腳)
    其他配件選項(xiàng)
    2.1ES62x-PC-HBM電腦(預(yù)裝脈沖及失效等級(jí)自動(dòng)檢測(cè)軟件)
    2.2KSMU2400數(shù)字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測(cè)器件DC損傷檢測(cè))
    2.3ES62X-CMPS簡(jiǎn)易手動(dòng)探針臺(tái)
    2.4ES62X-XYZM-TIMXYZ 微動(dòng)探針座 – XYZ 行程500 mils,步進(jìn)0.01mm
    2.5ES62X-XYZM-PAAPCB 探針臂套件,配備電壓測(cè)量探頭
    2.6ES62X-XYZM-GAA接地探針臂套件
    2.7HBM-TC0.30.3 mm Pitch Test Clip
    2.8HBM-TC2.52.54 mm Pitch Test Clip
    2.9ES62X-XYZM-PP048048 型號(hào)彈簧探針
    2.10ES62X-XYZM-PP075075 型號(hào)彈簧探針
    2.11ES62X-XYZM-TN1鎢鋼針

 


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